【匀胶机清洗】

∷每次使用完后请清洗设备。

①取下片托，用溶剂（如酒精、丙酮等）将片托表面的旋涂液擦洗干净；

②取下不锈钢锅，用溶剂（如酒精、丙酮等）将锅内部的旋涂液擦洗干净；

∷如发现旋转轴上的光码盘气孔进胶，请立即清洗。操作步骤如下：

①取下托盘，在旋转轴光码盘上滴入适量溶剂（如酒精、丙酮等）；

②等待1-2分钟，直至光刻胶溶解在溶剂中；

③打开泵抽气3分钟左右，直至光码盘气孔中光刻胶清除干净为止。

【片托使用】

∷托盘选取：保证旋涂基片的外径大于片托的凸台外径以防止电机进胶，即a≥1~2mm，如图1所示；

∷旋涂溶液量：及时清理不锈钢锅内的残余旋涂溶液，以免滞留过多溢出锅外，污染设备。

                                                                    图1 片托使用示意图

【气管插拔】

∷插入气管：用力将气管插到底即可，如图2所示。

∷拔出气管：先要按下快插接头的圆环，然后才能够进行拔气管操作，如图2所示。

                                                                图2 气管插拔示意图

                                                    ①快插接头；②气管；③快插接头圆环；